1 | அதிகபட்ச வேலை அழுத்தம் 20.6 Mpa. |
2 | அதிகபட்சம்.வேலை வெப்பநிலை 204℃ (உயர் வெப்பநிலை சூழல் 454℃ வரை, இந்த நேரத்தில் அடைப்பு பொருள் விரிவாக்கப்பட்ட கிராஃபைட்டுடன் மாற்றப்படுகிறது) |
3 | வடிகட்டி அமைப்பு துகள் மாசுக்கள், வாயுக்கள், திரவங்கள் பொருந்தும். |
4 | துருப்பிடிக்காத எஃகு தூள் உலோகம் சின்டர்டு வடிகட்டி வடிகட்டி துல்லியம் 2μm~40μm |
5 | வடிகட்டி ஓட்டம் 1x 10 -6~1×10-2L/min.செமீ2.பா |
6 | வடிகட்டியை மாற்றலாம். |
வடிகட்டியின் தயாரிப்பு அம்சங்கள்
1 | பரந்த பயன்பாட்டு வரம்பு, ஓட்ட வரம்பு 15 முதல் 300SL / நிமிடம் வரை. |
2 | இது மிகவும் உயர்-தூய்மை குறைக்கடத்தி செயல்முறை வாயுக்களுடன் நல்ல பொருந்தக்கூடிய தன்மையைக் கொண்டுள்ளது. |
3 | 3 நானோ துகள்கள் வடிகட்டுதல் திறன் அதிக ஓட்ட திறன் மற்றும் தீவிர சிறிய அழுத்தம் வீழ்ச்சியை பராமரிக்கிறது. |
4 | 5Ra எலக்ட்ரோபாலிஷ் செய்யப்பட்ட மேற்பரப்பு உள் மாசுபாட்டைத் தடுக்கும். |
5 | செமிகண்டக்டர் செயல்முறை தரநிலைகளை சந்திக்க டீயோனைஸ் செய்யப்பட்ட தண்ணீருக்கு பிறகு சூடான நைட்ரஜனுடன் சுடவும். |
6 | 1000 நிலை தூசி இல்லாத அசெப்டிக் பட்டறை உற்பத்தி, சுத்தம் மற்றும் பேக்கேஜிங் சூழல். |
7 | 100% ஹீலியம் கசிவுக்கான சோதனை. |
நுழைவாயில் | கடையின் | |
1 | 1/8″ குழாய் பொருத்துதல் | 1/8″ குழாய் பொருத்துதல் |
2 | 1/4″ குழாய் பொருத்துதல் | 1/4″ குழாய் பொருத்துதல் |
3 | 3/8″ குழாய் பொருத்துதல் | 3/8″ குழாய் பொருத்துதல் |
4 | 1/2″ குழாய் பொருத்துதல் | 1/2″ குழாய் பொருத்துதல் |
5 | 6MM குழாய் பொருத்துதல் | 6MM குழாய் பொருத்துதல் |
6 | 8MM குழாய் பொருத்துதல் | 8MM குழாய் பொருத்துதல் |
7 | 10MM குழாய் பொருத்துதல் | 10MM குழாய் பொருத்துதல் |
8 | 12MM குழாய் பொருத்துதல் | 12MM குழாய் பொருத்துதல் |
9 | 1/8″ பெண் NPT | 1/8″ பெண் NPT |
10 | 1/4″ பெண் NPT | 1/4″ பெண் NPT |
11 | 1/4″ ஆண் NPT | 1/4″ ஆண் NPT |
12 | 3/8″ ஆண் NPT | 3/8″ ஆண் NPT |
13 | 1/2″ ஆண் NPT | 1/2″ ஆண் NPT |
வடிகட்டியின் தயாரிப்பு செயல்திறன் அளவுருக்கள்
1 | வடிகட்டுதல் துல்லியம் | ≥0.0025μm | |
2 | வடிகட்டுதல் திறன் | அகற்றுதல் விகிதம்99.99999%≥0.0025μm | |
3 | மதிப்பிடப்பட்ட ஓட்டம் | 15லி/நிமிடம் | |
4 | 60லி/நிமிடம் | ||
5 | 120லி/நிமிடம் | ||
6 | 200லி/நிமிடம் | ||
7 | 300லி/நிமிடம் | ||
8 | வடிகட்டி கலவை | வடிகட்டி உறுப்பு | 316L/PTFE |
9 | வீட்டுவசதி | துருப்பிடிக்காத எஃகு 316L | |
10 | வேலைக்கான நிபந்தனைகள் | அதிகபட்ச நுழைவு அழுத்தம் | 21Mpa (310kgf/cm2) |
11 | அதிகபட்ச வேறுபாடு அழுத்தம் | 15Mpa (153kgf/cm2) | |
12 | அதிகபட்ச இயக்க வெப்பநிலை | 430℃ (மட வாயு) | |
13 | ஹீலியம் கசிவு விகிதம் | 1×10-9 atm.cc/sec | |
14 | மேற்பரப்பு பூச்சு | ≤ரா 5μin |