வால் எரிவாயு சிகிச்சை உபகரணங்கள் பொறிப்பு செயல்முறைகள் மற்றும் ரசாயன நீராவி படிவு செயல்முறைகளில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்களை கையாள முடியும், இதில் SIH4, SIH2Cl2, PH3, B2H6, TEOS, H2, CO, NF3, SF6, C2F6, WF6, NH3, N2O, மற்றும் SO.
வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சை முறை
வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சையின் பண்புகளின்படி, சிகிச்சையை நான்கு வகையான சிகிச்சையாக பிரிக்கலாம்:
1. நீர் கழுவுதல் வகை (அரிக்கும் வாயுக்கள் சிகிச்சை)
2. ஆக்ஸிஜனேற்ற வகை (எரியக்கூடிய மற்றும் நச்சு வாயுக்களைக் கையாளுதல்)
3. உறிஞ்சுதல் (தொடர்புடைய வெளியேற்ற வாயுவை சமாளிக்க உறிஞ்சுதல் பொருளின் வகைக்கு ஏற்ப).
4. பிளாஸ்மா எரிப்பு வகை (அனைத்து வகையான வெளியேற்ற வாயுக்களையும் சிகிச்சையளிக்க முடியும்).
ஒவ்வொரு வகை சிகிச்சையும் அதன் சொந்த நன்மைகள் மற்றும் தீமைகள் மற்றும் அதன் பயன்பாட்டின் நோக்கம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. சிகிச்சை முறை நீர் கழுவும்போது, உபகரணங்கள் மலிவானவை மற்றும் எளிமையானவை, மேலும் நீரில் கரையக்கூடிய வாயுக்களை மட்டுமே கையாள முடியும்; மின்சார நீர் சலவை வகையின் பயன்பாட்டு வரம்பு நீர் சலவை வகையை விட அதிகமாக உள்ளது, ஆனால் செயல்பாட்டு செலவு அதிகமாக உள்ளது; உலர்ந்த வகை நல்ல சிகிச்சை செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது, மேலும் இது வாயு ஓட்டத்திற்கு பொருந்தாது, இது அடைக்கப்படுவது அல்லது பாய்கிறது.
குறைக்கடத்தி தொழிலில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் ரசாயனங்கள் மற்றும் அவற்றின் துணை தயாரிப்புகள் அவற்றின் வேதியியல் பண்புகள் மற்றும் அவற்றின் வெவ்வேறு வரம்புகளுக்கு ஏற்ப வகைப்படுத்தப்படலாம்:
1. SIH4H2 போன்ற எரியக்கூடிய வாயுக்கள்.
2. ASH3, PH3 போன்ற நச்சு வாயுக்கள்.
3. எச்.எஃப், எச்.சி.எல் போன்ற அரிக்கும் வாயுக்கள்.
4. CF4, NF3 போன்ற கிரீன்ஹவுஸ் வாயுக்கள்.
மேற்கூறிய நான்கு வாயுக்கள் சுற்றுச்சூழல் அல்லது மனித உடலுக்கு தீங்கு விளைவிப்பதால், வளிமண்டலத்தில் அதன் நேரடி உமிழ்வைத் தடுக்க வேண்டும், எனவே பொதுவான குறைக்கடத்தி ஆலை ஒரு பெரிய மையப்படுத்தப்பட்ட வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சை முறையுடன் நிறுவப்பட்டுள்ளது, ஆனால் இந்த அமைப்பு நீர் துடைக்கும் வெளியேற்றமாக மட்டுமே உள்ளது, எனவே அதன் பயன்பாடு நீண்ட தூர நீரில் கரையக்கூடிய வாயுக்களுக்கு மட்டுப்படுத்தப்பட்டுள்ளது, மேலும் சோம்பிளிடர் செயல்முறையை சமாளிக்கும் மற்றும் நுட்பமான செயலாக்கத்தை சமாளிக்க முடியாது. ஆகையால், வெளியேற்ற வாயு சிக்கலை ஒரு சிறிய வழியில் தீர்க்க ஒவ்வொரு செயல்முறையிலிருந்தும் பெறப்பட்ட வாயு பண்புகளின்படி தொடர்புடைய வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சை கருவிகளைத் தேர்ந்தெடுத்து பொருத்துவது அவசியம். பணிபுரியும் பகுதி பெரும்பாலும் மத்திய வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சை முறையிலிருந்து விலகி இருப்பதால், பெரும்பாலும் வாயு பண்புகள் காரணமாக படிகமயமாக்கல் அல்லது குழாய்த்திட்டத்தில் தூசி திரட்டுவதற்கு வழிவகுக்கிறது, இதன் விளைவாக குழாய்த்திட்டத்தை அடைப்பது எரிவாயு கசிவுக்கு வழிவகுக்கிறது, மேலும் கடுமையான சந்தர்ப்பங்களில் கூட வெடிப்பை ஏற்படுத்துகிறது, தள ஊழியர்களின் பணி பாதுகாப்பு என்பதை உறுதிப்படுத்த முடியாது. ஆகையால், பணிப் பகுதியில் பணியாளர்களின் பாதுகாப்பை உறுதி செய்வதற்காக, வேலை பகுதியில் தேங்கி நிற்கும் வெளியேற்ற வாயுவைக் குறைப்பதற்காக, செயல்முறை வாயுவின் சிறப்பியல்புகளுக்கு ஏற்ற ஒரு சிறிய வெளியேற்ற வாயு சிகிச்சை கருவிகளை உள்ளமைக்க வேண்டும்.
இடுகை நேரம்: ஆகஸ்ட் -10-2023