குறைக்கடத்தி புனையலில், வாயுக்கள் அனைத்து வேலைகளையும் செய்கின்றன மற்றும் ஒளிக்கதிர்கள் அனைத்து கவனத்தையும் பெறுகின்றன. லேசர்கள் சிலிக்கானில் டிரான்சிஸ்டர் வடிவங்களை எட்ச் செய்யும்போது, முதலில் சிலிக்கானை டெபாசிட் செய்து முழுமையான சுற்றுகளை உருவாக்க லேசரை உடைத்து வாயுக்கள். பல கட்ட செயல்முறைகள் மூலம் நுண்செயலிகளை உருவாக்கப் பயன்படும் இந்த வாயுக்கள் அதிக தூய்மை கொண்டவை என்பதில் ஆச்சரியமில்லை. இந்த வரம்புக்கு மேலதிகமாக, அவர்களில் பலருக்கு பிற கவலைகள் மற்றும் வரம்புகள் உள்ளன. சில வாயுக்கள் கிரையோஜெனிக், மற்றவை அரிக்கும், இன்னும் சிலர் மிகவும் நச்சுத்தன்மையுள்ளவர்கள்.
மொத்தத்தில், இந்த வரம்புகள் குறைக்கடத்தி தொழிலுக்கு உற்பத்தி எரிவாயு விநியோக முறைகளை கணிசமான சவாலாக ஆக்குகின்றன. பொருள் விவரக்குறிப்புகள் கோருகின்றன. பொருள் விவரக்குறிப்புகளுக்கு கூடுதலாக, ஒரு வாயு விநியோக வரிசை என்பது ஒன்றோடொன்று இணைக்கப்பட்ட அமைப்புகளின் சிக்கலான எலக்ட்ரோ மெக்கானிக்கல் வரிசை. அவை கூடியிருக்கும் சூழல்கள் சிக்கலானவை மற்றும் ஒன்றுடன் ஒன்று. நிறுவல் செயல்முறையின் ஒரு பகுதியாக தளத்தில் இறுதி புனைகதை நடைபெறுகிறது. ஆர்பிட்டல் சாலிடரிங் எரிவாயு விநியோகத் தேவைகளின் உயர் விவரக்குறிப்புகளை பூர்த்தி செய்ய உதவுகிறது, அதே நேரத்தில் உற்பத்தியை இறுக்கமான, சவாலான சூழல்களில் மேலும் நிர்வகிக்க முடியும்.
குறைக்கடத்தி தொழில் வாயுக்களை எவ்வாறு பயன்படுத்துகிறது
ஒரு எரிவாயு விநியோக முறையின் உற்பத்தியைத் திட்டமிட முயற்சிக்கும் முன், குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் அடிப்படைகளையாவது புரிந்து கொள்ள வேண்டியது அவசியம். அதன் மையத்தில், குறைக்கடத்திகள் வாயுக்களைப் பயன்படுத்தி ஒரு மேற்பரப்பில் மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட திடப்பொருட்களை மிகவும் கட்டுப்படுத்தப்பட்ட முறையில் டெபாசிட் செய்ய பயன்படுத்துகின்றனர். இந்த டெபாசிட் செய்யப்பட்ட திடப்பொருட்கள் கூடுதல் வாயுக்கள், ஒளிக்கதிர்கள், ரசாயன பொறிகள் மற்றும் வெப்பத்தை அறிமுகப்படுத்துவதன் மூலம் மாற்றியமைக்கப்படுகின்றன. பரந்த செயல்பாட்டின் படிகள்:
படிவு: இது ஆரம்ப சிலிக்கான் செதில்களை உருவாக்கும் செயல்முறை. சிலிக்கான் முன்னோடி வாயுக்கள் ஒரு வெற்றிட படிவு அறைக்குள் செலுத்தப்பட்டு வேதியியல் அல்லது உடல் இடைவினைகள் மூலம் மெல்லிய சிலிக்கான் செதில்களை உருவாக்குகின்றன.
ஒளிச்சேர்க்கை: புகைப்படப் பிரிவு லேசர்களைக் குறிக்கிறது. மிக உயர்ந்த விவரக்குறிப்பு சில்லுகளை தயாரிக்கப் பயன்படுத்தப்படும் அதிக தீவிர புற ஊதா லித்தோகிராஃபி (ஈ.யூ.வி) ஸ்பெக்ட்ரம், கார்பன் டை ஆக்சைடு லேசர் நுண்செயலி சுற்றுகளை செதிலில் பொறிக்கப் பயன்படுகிறது.
பொறித்தல்: பொறித்தல் செயல்பாட்டின் போது, சிலிக்கான் அடி மூலக்கூறில் தேர்ந்தெடுக்கப்பட்ட பொருட்களை செயல்படுத்தவும் கரைக்கவும் ஹாலோஜன்-கார்பன் வாயு அறைக்குள் செலுத்தப்படுகிறது. இந்த செயல்முறை லேசர் அச்சிடப்பட்ட சுற்றுகளை அடி மூலக்கூறில் திறம்பட பொறுத்துகிறது.
ஊக்கமருந்து: இது ஒரு கூடுதல் படியாகும், இது செமிகண்டக்டர் நடத்தும் சரியான நிலைமைகளைத் தீர்மானிக்க பொறிக்கப்பட்ட மேற்பரப்பின் கடத்துத்திறனை மாற்றுகிறது.
அனீலிங்: இந்த செயல்பாட்டில், செதில் அடுக்குகளுக்கு இடையிலான எதிர்வினைகள் உயர்ந்த அழுத்தம் மற்றும் வெப்பநிலையால் தூண்டப்படுகின்றன. அடிப்படையில், இது முந்தைய செயல்முறையின் முடிவுகளை இறுதி செய்கிறது மற்றும் செதில் இறுதி செயலியை உருவாக்குகிறது.
அறை மற்றும் வரி சுத்தம்: முந்தைய படிகளில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள், குறிப்பாக பொறித்தல் மற்றும் ஊக்கமருந்து ஆகியவை பெரும்பாலும் அதிக நச்சுத்தன்மையுடனும் எதிர்வினையுடனும் உள்ளன. ஆகையால், செயல்முறை அறை மற்றும் அதற்கு உணவளிக்கும் வாயு கோடுகள் தீங்கு விளைவிக்கும் எதிர்வினைகளைக் குறைக்க அல்லது அகற்ற வாயுக்களை நடுநிலையாக்குவதன் மூலம் நிரப்பப்பட வேண்டும், பின்னர் வெளிப்புற சூழலில் இருந்து மாசுபடுத்தும் வாயுக்களின் ஊடுருவலைத் தடுக்க மந்த வாயுக்களால் நிரப்பப்பட வேண்டும்.
குறைக்கடத்தி துறையில் எரிவாயு விநியோக முறைகள் பெரும்பாலும் சிக்கலானவை, ஏனெனில் பல வேறுபட்ட வாயுக்கள் மற்றும் வாயு ஓட்டம், வெப்பநிலை மற்றும் அழுத்தத்தின் இறுக்கமான கட்டுப்பாடு காலப்போக்கில் பராமரிக்கப்பட வேண்டும். செயல்பாட்டில் ஒவ்வொரு வாயுவுக்கும் தேவையான அதி-உயர் தூய்மையால் இது மேலும் சிக்கலானது. முந்தைய கட்டத்தில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள் கோடுகள் மற்றும் அறைகளிலிருந்து வெளியேற்றப்பட வேண்டும் அல்லது செயல்முறையின் அடுத்த கட்டம் தொடங்குவதற்கு முன்பு நடுநிலைப்படுத்தப்பட வேண்டும். இதன் பொருள் என்னவென்றால், வெல்டட் குழாய் அமைப்பு மற்றும் குழல்களை இடையே ஏராளமான சிறப்பு கோடுகள் உள்ளன, குழல்களை மற்றும் குழாய்கள் மற்றும் வாயு கட்டுப்பாட்டாளர்கள் மற்றும் சென்சார்களுக்கு இடையில் இடைமுகங்கள், மற்றும் முன்னர் குறிப்பிட்ட அனைத்து கூறுகளுக்கும் இடைமுகங்களுக்கும் இடைமுகங்கள் மற்றும் வால்வுகள் மற்றும் இயற்கை எரிவாயு விநியோகத்தை குழாய் பதிப்பதைத் தடுக்க வடிவமைக்கப்பட்ட வால்வுகள் ஆகியவற்றுக்கு இடையில் இடைமுகங்கள் உள்ளன.
கூடுதலாக, தற்செயலான கசிவு ஏற்பட்டால் எந்தவொரு ஆபத்துகளையும் தணிக்க சுத்தமான அறை வெளிப்புறங்கள் மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள் சுத்தமான அறை சூழல்களில் மொத்த எரிவாயு விநியோக அமைப்புகள் மற்றும் சிறப்பு வரையறுக்கப்பட்ட பகுதிகள் பொருத்தப்படும். அத்தகைய சிக்கலான சூழலில் இந்த எரிவாயு அமைப்புகளை வெல்ட் செய்வது எளிதான காரியமல்ல. இருப்பினும், கவனமாக, விவரம் மற்றும் சரியான உபகரணங்கள் ஆகியவற்றில், இந்த பணியை வெற்றிகரமாக நிறைவேற்ற முடியும்.
குறைக்கடத்தி துறையில் எரிவாயு விநியோக முறைகள் உற்பத்தி
குறைக்கடத்தி வாயு விநியோக அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படும் பொருட்கள் மிகவும் மாறுபடும். அதிக அரிக்கும் வாயுக்களை எதிர்க்க PTFE- வரிசையாக உலோகக் குழாய்கள் மற்றும் குழல்களை போன்றவற்றை அவற்றில் சேர்க்கலாம். குறைக்கடத்தி துறையில் பொது நோக்கத்திற்கான குழாய்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் மிகவும் பொதுவான பொருள் 316 எல் எஃகு - குறைந்த கார்பன் எஃகு மாறுபாடு. 316 எல் மற்றும் 316 க்கு வரும்போது, 316 எல் இடைக்கால அரிப்புக்கு மிகவும் எதிர்க்கிறது. கார்பனை அழிக்கக்கூடிய அதிக எதிர்வினை மற்றும் சாத்தியமான கொந்தளிப்பான வாயுக்களின் வரம்பைக் கையாளும் போது இது ஒரு முக்கியமான கருத்தாகும். வெல்டிங் 316 எல் எஃகு குறைந்த கார்பன் வளிமண்டலங்களை வெளியிடுகிறது. இது தானிய எல்லை அரிப்புக்கான திறனையும் குறைக்கிறது, இது வெல்ட்கள் மற்றும் வெப்ப பாதிக்கப்பட்ட மண்டலங்களில் அரிப்புக்கு வழிவகுக்கும்.
தயாரிப்பு வரி அரிப்பு மற்றும் மாசுபாட்டிற்கு வழிவகுக்கும் அரிப்பை குழாய் பதிக்கும் வாய்ப்பைக் குறைக்க, தூய ஆர்கான் கேடய வாயு மற்றும் டங்ஸ்டன் கேஸ் ஷீல்ட் வெல்ட் ரெயில்கள் கொண்ட 316 எல் எஃகு வெல்டிங் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையில் தரமாகும். செயல்முறை குழாய்களில் அதிக தூய்மைச் சூழலை பராமரிக்க தேவையான கட்டுப்பாட்டை வழங்கும் ஒரே வெல்டிங் செயல்முறை. தானியங்கு சுற்றுப்பாதை வெல்டிங் குறைக்கடத்தி வாயு விநியோகத்தில் மட்டுமே கிடைக்கிறது
இடுகை நேரம்: ஜூலை -18-2023