குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை வாயுக்களை பிரபலப்படுத்துதல்

குறைக்கடத்தி விநியோக சங்கிலி முழுவதும் அதி-உயர் தூய்மை வாயுக்கள் அவசியம். உண்மையில், ஒரு பொதுவான ஃபேப்பிற்கு, அதிக தூய்மை வாயுக்கள் சிலிக்கானுக்குப் பிறகு மிகப்பெரிய பொருள் செலவாகும். உலகளாவிய சிப் பற்றாக்குறையை அடுத்து, தொழில் முன்னெப்போதையும் விட வேகமாக விரிவடைந்து வருகிறது - மேலும் அதிக தூய்மை வாயுக்களுக்கான தேவை அதிகரித்து வருகிறது.

குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் மொத்த வாயுக்கள் நைட்ரஜன், ஹீலியம், ஹைட்ரஜன் மற்றும் ஆர்கான்.

Nஇட்ரோஜன்

நைட்ரஜன் நமது வளிமண்டலத்தின் 78% மற்றும் மிகுதியாக உள்ளது. இது வேதியியல் மந்தமாகவும், கடத்தப்படாததாகவும் இருக்கும். இதன் விளைவாக, நைட்ரஜன் பல தொழில்களில் செலவு குறைந்த மந்த வாயுவாகக் கண்டறிந்துள்ளது.

குறைக்கடத்தி தொழில் நைட்ரஜனின் முக்கிய நுகர்வோர் ஆகும். ஒரு நவீன குறைக்கடத்தி உற்பத்தி ஆலை ஒரு மணி நேரத்திற்கு 50,000 கன மீட்டர் நைட்ரஜன் வரை பயன்படுத்தப்படும் என்று எதிர்பார்க்கப்படுகிறது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில், நைட்ரஜன் ஒரு பொதுவான நோக்கத்திற்காக செயலற்ற மற்றும் சுத்திகரிப்பு வாயுவாக செயல்படுகிறது, உணர்திறன் சிலிக்கான் செதில்களை எதிர்வினை ஆக்ஸிஜன் மற்றும் காற்றில் ஈரப்பதத்திலிருந்து பாதுகாக்கிறது.

ஹீலியம்

ஹீலியம் ஒரு மந்த வாயு. இதன் பொருள், நைட்ரஜனைப் போலவே, ஹீலியம் வேதியியல் ரீதியாக செயலற்றது - ஆனால் இது அதிக வெப்ப கடத்துத்திறனின் கூடுதல் நன்மையையும் கொண்டுள்ளது. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் இது மிகவும் பயனுள்ளதாக இருக்கும், இது உயர் ஆற்றல் செயல்முறைகளிலிருந்து வெப்பத்தை திறம்பட நடத்தவும், வெப்ப சேதம் மற்றும் தேவையற்ற வேதியியல் எதிர்வினைகளிலிருந்து அவற்றைப் பாதுகாக்கவும் உதவுகிறது.

ஹைட்ரஜன்

எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தி செயல்முறை முழுவதும் ஹைட்ரஜன் விரிவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, மேலும் குறைக்கடத்தி உற்பத்தி விதிவிலக்கல்ல. குறிப்பாக, ஹைட்ரஜன் பயன்படுத்தப்படுகிறது:

அனீலிங்: சிலிக்கான் செதில்கள் பொதுவாக அதிக வெப்பநிலையில் சூடேற்றப்பட்டு, படிக கட்டமைப்பை சரிசெய்ய (வருடாந்திர) மெதுவாக குளிர்ந்து வைக்கப்படுகின்றன. ஹைட்ரஜன் வெப்பத்தை சமநிலைக்கு சமமாக மாற்றவும், படிக கட்டமைப்பை மீண்டும் உருவாக்க உதவவும் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

எபிடாக்ஸி: அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை ஹைட்ரஜன் சிலிக்கான் மற்றும் ஜெர்மானியம் போன்ற குறைக்கடத்தி பொருட்களின் எபிடாக்சியல் படிவுகளில் குறைக்கும் முகவராகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

படிவு: ஹைட்ரஜன் சிலிக்கான் படங்களில் அவற்றின் அணு கட்டமைப்பை மேலும் ஒழுங்கற்றதாக மாற்றலாம், இது எதிர்ப்பை அதிகரிக்க உதவுகிறது.

பிளாஸ்மா சுத்தம்: புற ஊதா லித்தோகிராஃபியில் பயன்படுத்தப்படும் ஒளி மூலங்களிலிருந்து தகரம் மாசுபாட்டை அகற்றுவதில் ஹைட்ரஜன் பிளாஸ்மா குறிப்பாக பயனுள்ளதாக இருக்கும்.

ஆர்கான்

ஆர்கான் மற்றொரு உன்னத வாயு, எனவே இது நைட்ரஜன் மற்றும் ஹீலியம் போன்ற குறைந்த வினைத்திறனை வெளிப்படுத்துகிறது. இருப்பினும், ஆர்கானின் குறைந்த அயனியாக்கம் ஆற்றல் குறைக்கடத்தி பயன்பாடுகளில் பயனுள்ளதாக இருக்கும். அயனியாக்கத்தின் ஒப்பீட்டளவில் எளிமை காரணமாக, ஆர்கான் பொதுவாக குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் எட்ச் மற்றும் படிவு எதிர்வினைகளுக்கான முதன்மை பிளாஸ்மா வாயுவாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. இது தவிர, புற ஊதா லித்தோகிராஃபிக்கு எக்ஸைமர் லேசர்களில் ஆர்கான் பயன்படுத்தப்படுகிறது.

ஏன் தூய்மை முக்கியமானது

பொதுவாக, குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பத்தின் முன்னேற்றங்கள் அளவு அளவிடுதல் மூலம் அடையப்பட்டுள்ளன, மேலும் புதிய தலைமுறை குறைக்கடத்தி தொழில்நுட்பம் சிறிய அம்ச அளவுகளால் வகைப்படுத்தப்படுகிறது. இது பல நன்மைகளைத் தருகிறது: ஒரு குறிப்பிட்ட தொகுதியில் அதிக டிரான்சிஸ்டர்கள், மேம்பட்ட நீரோட்டங்கள், குறைந்த மின் நுகர்வு மற்றும் வேகமாக மாறுதல்.

இருப்பினும், முக்கியமான அளவு குறையும் போது, ​​குறைக்கடத்தி சாதனங்கள் பெருகிய முறையில் அதிநவீனமாகின்றன. தனிப்பட்ட அணுக்களின் நிலை முக்கியத்துவம் வாய்ந்த உலகில், தவறு சகிப்புத்தன்மை வாசல்கள் மிகவும் இறுக்கமாக உள்ளன. இதன் விளைவாக, நவீன குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கு அதிக தூய்மை கொண்ட செயல்முறை வாயுக்கள் தேவைப்படுகின்றன.

வோஃப்லி என்பது எரிவாயு பயன்பாட்டு அமைப்பு பொறியியலில் நிபுணத்துவம் வாய்ந்த ஒரு உயர் தொழில்நுட்ப நிறுவனமாகும்: மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு அமைப்பு, ஆய்வக எரிவாயு சுற்று அமைப்பு, தொழில்துறை மையப்படுத்தப்பட்ட எரிவாயு விநியோக அமைப்பு, மொத்த எரிவாயு (திரவ) அமைப்பு, உயர் தூய்மை எரிவாயு மற்றும் சிறப்பு செயல்முறை வாயு இரண்டாம் நிலை குழாய் அமைப்பு, வேதியியல் விநியோக அமைப்பு, தூய நீர் அமைப்பு, முழு பொறியியல் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகள் மற்றும் தொழில்நுட்ப சேவைகள், கணினி திட்டமிடல், கணினி திட்டமிடல் மற்றும் துணை நீர் அமைப்பு ஆகியவற்றை வழங்குவதற்கான தூய நீர் அமைப்பு தளம், ஒட்டுமொத்த கணினி சோதனை, பராமரிப்பு மற்றும் பிற துணை தயாரிப்புகள் ஒருங்கிணைந்த முறையில்.