குறைக்கடத்தி சந்தை வளரும்போது, தூய்மை மற்றும் துல்லியத்திற்கான தரநிலைகள் மிகவும் கடுமையானவை. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தரத்தில் தீர்மானிக்கும் காரணிகளில் ஒன்று, செயல்பாட்டில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள். இந்த வாயுக்கள் உற்பத்தி செயல்பாட்டில் பல பாத்திரங்களை வகிக்கின்றன:
துல்லிய செயல்முறை கட்டுப்பாடு
மாசு தடுப்பு
உலோகவியல் சொத்து மேம்பாடு
இந்த பாத்திரங்களை திறம்பட செய்ய, எரிவாயு வழங்கல் மற்றும் விநியோக முறை திறமையாக இருக்க வேண்டும். குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் எரிவாயு கையாளுதல் அமைப்புகளின் வடிவமைப்பு, குறைக்கடத்திகளின் நம்பகமான மற்றும் உயர்தர உற்பத்தியை உறுதி செய்வதற்காக வலுவான கூறுகள் மற்றும் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட கூட்டங்களால் ஆதரிக்கப்பட வேண்டும்.
குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் வாயுக்கள்
குறைக்கடத்திகளை உற்பத்தி செய்யும் செயல்முறைக்கு செயல்முறையின் வெவ்வேறு கட்டங்களில் வெவ்வேறு வாயுக்களைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
நைட்ரஜன், ஹைட்ரஜன், ஆர்கான் மற்றும் ஹீலியம் போன்ற பொதுவான வாயுக்களை அவற்றின் தூய வடிவத்தில் பயன்படுத்தலாம் என்றாலும், சில செயல்முறைகளுக்கு சிறப்பு கலவைகள் தேவைப்படலாம். சிலேன்ஸ் அல்லது சிலோக்சேன்ஸ், ஹெக்ஸாஃப்ளூரைடுகள், ஹலைடுகள் மற்றும் ஹைட்ரோகார்பன்கள் ஆகியவை குறைக்கடத்தி உற்பத்தியில் பயன்படுத்தப்படும் சிறப்பு வாயுக்களில் சில. இந்த வாயுக்களில் பல அபாயகரமானவை அல்லது அதிக எதிர்வினை கொண்டவை, எரிவாயு அமைப்புகளுக்கான கூறுகளைத் தேர்ந்தெடுப்பதிலும் வடிவமைப்பதிலும் சவால்களை உருவாக்குகின்றன.
சில எடுத்துக்காட்டுகள் இங்கே:
\ ஹைட்ரஜன் மற்றும் ஹீலியம் ஆகியவை சிறிய அணு அளவு மற்றும் எடை காரணமாக குழாய் மற்றும் பொருத்துதல் அமைப்புகளிலிருந்து எளிதில் கசியும்.
\ சிலேன்ஸ் மிகவும் எரியக்கூடியவை மற்றும் தன்னிச்சையாக காற்றில் எரியும் (தன்னியக்க).
\ படிவுகளில் பயன்படுத்தப்படும் நைட்ரஜன் டிஃப்ளூரைடு, பொறித்தல் மற்றும் அறை சுத்தம் செய்யும் நிலைகளில் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
\ ஹைட்ரஜன் ஃவுளூரைடு (வாயு பொறித்தல்) உலோகக் குழாய்களுக்கு மிகவும் அரிக்கும்.
\ ட்ரைமெதில்கல்லியம் மற்றும் அம்மோனியா ஆகியவற்றைக் கையாள்வது கடினம் - அவற்றின் வெப்பநிலையில் சிறிய ஏற்ற இறக்கங்கள் மற்றும் அழுத்தம் தேவைகள் படிவு செயல்முறையை பாதிக்கும்.
இந்த வாயுக்களின் எதிர்மறையான விளைவுகளை குறைக்க செயல்முறை நிலைமைகளைக் கட்டுப்படுத்துதல் கணினி வடிவமைப்பின் போது முன்னுரிமையாக இருக்க வேண்டும். உருவாக்க செயல்பாட்டின் போது AFK டயாபிராம் வால்வுகள் போன்ற மிக உயர்ந்த தரமான கூறுகளைப் பயன்படுத்துவது சமமாக முக்கியமானது.
கணினி வடிவமைப்பு சவால்களை நிவர்த்தி செய்தல்
குறைக்கடத்தி தர வாயுக்கள் அதிக தூய்மையின் பெரும்பாலான சந்தர்ப்பங்களில் உள்ளன மற்றும் செயலற்ற நிலைகளை வழங்குகின்றன அல்லது உற்பத்தி செயல்முறையின் வெவ்வேறு கட்டங்களில் எதிர்வினைகளை மேம்படுத்துகின்றன, அதாவது எட்ச் மற்றும் படிவு வாயுக்கள். அத்தகைய வாயுக்களின் கசிவு அல்லது மாசுபாடு எதிர்மறையான விளைவுகளை ஏற்படுத்தும். ஆகையால், மாசுபடுவதற்கான சாத்தியம் இல்லை என்பதையும், மிக உயர்ந்த அளவிலான தூய்மையை பராமரிக்க முடியும் என்பதையும் உறுதி செய்வதற்காக, ஹெர்மெட்டிகல் சீல் மற்றும் அரிப்பை எதிர்க்கும் மற்றும் மென்மையான மேற்பரப்பு பூச்சு (மின்னாற்பகுப்பு மெருகூட்டல்) கொண்ட கணினி கூறுகளுக்கு இது மிகவும் முக்கியமானது.
கூடுதலாக, இந்த வாயுக்களில் சிலவற்றை விரும்பிய செயல்முறை நிலைமைகளை அடைய சூடாக்கலாம் அல்லது குளிர்விக்கலாம். நன்கு காப்பிடப்பட்ட கூறுகள் வெப்பநிலை கட்டுப்பாட்டை உறுதி செய்கின்றன, இது இறுதி உற்பத்தியின் திறமையான செயல்திறனுக்கு முக்கியமானது.
மூல நுழைவாயில் முதல் பயன்பாட்டு வரை, AFK இன் பரந்த அளவிலான கூறுகள் குறைக்கடத்தி சுத்தமான அறைகள் மற்றும் வெற்றிட அறைகளில் தேவைப்படும் அதி-உயர் தூய்மை, வெப்பநிலை, அழுத்தம் மற்றும் ஓட்டக் கட்டுப்பாட்டை ஆதரிக்கின்றன.
குறைக்கடத்தி FAB களில் தரமான கூறுகளுடன் வடிவமைக்கப்பட்ட அமைப்புகள்
தரமான கூறுகள் மற்றும் வடிவமைப்பு தேர்வுமுறை ஆகியவற்றின் பங்கு குறைக்கடத்திகளின் துல்லியமான கட்டுப்பாடு மற்றும் பாதுகாப்பான உற்பத்திக்கு முக்கியமானது. உற்பத்தியின் வெவ்வேறு கட்டங்களில் தேவைப்படும் மாறுபட்ட செயல்முறை நிலைமைகளுடன் பொருந்தக்கூடிய கூறுகள் வலுவான மற்றும் கசிவு இல்லாததாக இருக்க வேண்டும்.
அல்ட்ரா-உயர் தூய்மை
கசிவு இல்லாத முத்திரைகள்
வெப்பநிலை கட்டுப்படுத்தப்பட்ட காப்பு
அழுத்தம் கட்டுப்பாடு
அரிப்பு எதிர்ப்பு
மின்னாற்பகுப்பு மெருகூட்டல் சிகிச்சை
இடுகை நேரம்: அக் -09-2023