மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் உற்பத்தி செயல்முறையில் தொகுப்பு, சுத்திகரிப்பு, நிரப்புதல், பகுப்பாய்வு மற்றும் சோதனை, கலவை மற்றும் விகிதாச்சாரம் போன்ற பல செயல்முறைகள் உள்ளன. தூய்மை மற்றும் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்திற்கான கீழ்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி தேவைகளை பூர்த்தி செய்ய, சுத்திகரிப்பு செயல்முறை மிகவும் முக்கியமானது. அப்ஸ்ட்ரீம் தொகுப்பு வாயு அல்லது மூல வாயுவின் கலவையைப் பொறுத்து, குறைந்த வெப்பநிலை வடிகட்டுதல் அல்லது பல-நிலை சுத்திகரிப்பு செய்யப்படுகிறது.
அதிக தூய்மை தேவைகள்
மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தயாரிப்பு செயல்முறையை அப்ஸ்ட்ரீம் தொகுப்பு தயாரிப்பு மற்றும் சுத்திகரிப்பு ஆகியவற்றின் இரண்டு முக்கிய தொகுதிகளாக பிரிக்கலாம், இது வேதியியல் உற்பத்தி செயல்முறைக்கு சொந்தமானது. உற்பத்தி குழாயின் அளவு பெரியது, மேலும் சிறப்பு தூய்மை நிலை தேவை இல்லை. கீழ்நிலை சுத்திகரிப்புக்குப் பிறகு, தயாரிப்பு வாயுவால் நிரப்பப்பட்டு தயாரிப்புக்காக கலக்கப்படுகிறது. உற்பத்தி குழாய் சிறியது மற்றும் தூய்மை நிலை தேவைகளைக் கொண்டுள்ளது. இது குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் நிலையான விவரக்குறிப்பை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
அதிக சீல் தேவைகள்
அவற்றின் வேதியியல் செயல்பாடு காரணமாக, மின்னணு சிறப்பு வாயுக்கள் உற்பத்தி செயல்முறை முறையின் பொருட்களுக்கும் சீல் செய்வதற்கும் அதிக கோரிக்கைகளை வைக்கின்றன. குறைக்கடத்தி உற்பத்தியின் தேவைகளைப் போலவே, இது அசுத்தங்கள் அல்லது சிறப்பு வாயுக்களின் அரிப்பு ஆகியவற்றால் ஏற்படும் இடைமுக கசிவைத் தடுக்கிறது. அசுத்தங்களை அறிமுகப்படுத்துவதைத் தடுக்க அல்லது சிறப்பு வாயுக்களின் அரிப்பால் ஏற்படும் இடைமுகத்தின் கசிவைத் தடுக்கவும் இந்த அமைப்பு பயன்படுத்தப்படலாம்.
உயர் தர நிலைத்தன்மை தேவைகள்
மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் தரம் தூய்மை மற்றும் தூய்மையற்ற துகள் உள்ளடக்கம் போன்ற பல குறிகாட்டிகளை உள்ளடக்கியது. குறிகாட்டிகளில் ஏதேனும் மாற்றம் கீழ்நிலை குறைக்கடத்தி உற்பத்தி செயல்முறையின் முடிவுகளை பாதிக்கும். எனவே, மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தயாரிப்பு குறிகாட்டிகளின் நிலைத்தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக, குறிகாட்டிகளின் ஸ்திரத்தன்மையைக் கட்டுப்படுத்துவதற்கான தயாரிப்பு செயல்முறை முறையும் மிகவும் முக்கியமானது.
ஈ.ஜி.பியின் வேதியியல் செயல்பாடு மற்றும் தரத் தேவைகள் காரணமாக, ஈ.ஜி.பி தயாரிப்பிற்கான உற்பத்தி முறை, குறிப்பாக கீழ்நிலை சுத்திகரிப்பு அமைப்பு, உயர் தூய்மை பொருட்கள், அதிக சீலிங், உயர் தூய்மை மற்றும் உயர்தர நிலைத்தன்மையின் தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய வேண்டும், மேலும் பொறியியல் கூறுகளின் கட்டுமானம் குறைக்கடத்தி உற்பத்தித் துறையின் தரங்களை பூர்த்தி செய்ய வேண்டும்.
"உயர் தூய்மை" என்று நாம் பொதுவாகக் குறிப்பிடுவது கோட்பாட்டளவில் ஒரு பொருளின் தூய்மையின் வரையறையாகும், அதாவது உயர் தூய்மை வாயுக்கள், உயர் தூய்மை இரசாயனங்கள் போன்றவை. அதிக தூய்மை பொருட்களுக்குப் பயன்படுத்தப்படும் செயல்முறை அமைப்புகள் அல்லது செயல்முறை அமைப்பு கூறுகள் உயர் தூய்மை அமைப்புகள் மற்றும் உயர் தூய்மை வால்வுகள் போன்ற உயர் தூய்மை என்றும் குறிப்பிடப்படுகின்றன. மின்னணு சிறப்பு எரிவாயு தயாரிப்பு அமைப்புகளுக்கு அதிக தூய்மை பயன்பாட்டு பொருத்துதல்கள், வால்வுகள் மற்றும் பிற திரவ கூறுகள், அதாவது, பொருத்துதல்கள் மற்றும் வால்வுகள் அதிக தூய்மை பொருட்கள் மற்றும் சுத்தமான உற்பத்தி செயல்முறைகளுடன் செயலாக்கப்படுகின்றன, மேலும் அவை எளிதாக சுத்திகரிப்பு மற்றும் சுத்தம் செய்ய கட்டமைக்கப்பட்டுள்ளன. அதிக சீல் செயல்திறனுடன். இந்த திரவ கூறுகள் குறைக்கடத்தி தொழில்துறையின் பொறியியல் மற்றும் கட்டுமானத் தேவைகளைப் பயன்படுத்தி பயன்பாட்டின் செயல்முறை ஓட்ட பாதையை பூர்த்தி செய்ய வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளன.
உயர் தூய்மை குழாய் இணைப்புகள்
வி.சி. ஒவ்வொரு முறையும் சிதைந்த கேஸ்கட் அகற்றப்பட்டு மாற்றப்படும் போது மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய மற்றும் நிலையான இணைப்பு மற்றும் சீல் செயல்திறன் உறுதி செய்யப்படுகிறது.
தானியங்கி சுற்றுப்பாதை வெல்டிங் முறையைப் பயன்படுத்தி குழாய்கள் பற்றவைக்கப்படுகின்றன. குழாய் உள்ளேயும் வெளியேயும் அதிக தூய்மை வாயுவால் பாதுகாக்கப்படுகிறது. டங்ஸ்டன் எலக்ட்ரோடு உயர்தர வெல்டிங்கிற்கான சுற்றுப்பாதையில் சுழல்கிறது. முழு தானியங்கி சுற்றுப்பாதை வெல்டிங் மற்ற பொருட்களை அறிமுகப்படுத்தாமல் குழாயை உருக்குகிறது, மெல்லிய சுவர் குழாயை மீண்டும் மீண்டும் கட்டுப்படுத்துவதன் மூலம் உயர் தரமான வெல்டை அடைவது கையேடு வெல்டிங் மூலம் அடைய கடினமாக உள்ளது.
வி.சி.ஆர் மெட்டல் கேஸ்கட் ஃபேஸ் சீல் இணைப்பு
குழாய்களின் தானியங்கி சுற்றுப்பாதை பட் வெல்டிங் இணைப்பு
உயர் தூய்மை வால்வுகள்
எரியக்கூடிய, வெடிக்கும், அரிக்கும் மற்றும் நச்சு மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் வேதியியல் செயல்பாடு வால்வின் சீல் செய்வதில் அதிக கோரிக்கைகளை வைக்கிறது. சீல் நம்பகத்தன்மையை மேம்படுத்துவதற்காக, வெளிப்புற கசிவைத் தடுக்க பேக்கிங் இல்லாத வால்வுகளின் தேவை, அதாவது, உலோக பெல்லோஸ் அல்லது மெட்டல் டயாபிராமைப் பயன்படுத்தி முத்திரைக்கு இடையில் வால்வு தண்டு மற்றும் வால்வு உடலின் மாறுதல், சிராய்ப்பு மற்றும் பேக்கிங் சீல் சிதைவு காரணமாக கசிவை அகற்றுவதற்காக. பெல்லோஸ்-சீல் செய்யப்பட்ட மற்றும் உதரவிதான-சீல் செய்யப்பட்ட வால்வுகள் பொதுவாக உயர் தூய்மை பயன்பாடுகளுக்கான செயல்முறை அமைப்புகளில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, ஏனெனில் முத்திரைகளின் அதிக நம்பகத்தன்மை மற்றும் வால்வு இன்டர்னல்களை எளிதாக சுத்தம் செய்தல் மற்றும் தூய்மைப்படுத்துதல் ஆகியவை உள்ளன.
பெல்லோஸ்-சீல் செய்யப்பட்ட வால்வுகள் ஒரு பேக்கிங் இல்லாத ஊசி வால்வு கட்டுமானமாகும், இது மெதுவாக திறப்பு மற்றும் ஓட்ட ஒழுங்குமுறைக்கு அனுமதிக்கிறது. பாதுகாப்பு ஓட்டத் தேவைகள் அல்லது அதிக பாதுகாப்பு தேவைகளைக் கொண்ட முன்னோடி மூல பாட்டில்களில் மின்னணு சிறப்பு வாயு நிரப்புதலுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. ஆல்-மெட்டல் ஸ்டெம் முனை முத்திரைகள் மிகக் குறைந்த இயக்க வெப்பநிலையை அனுமதிக்கின்றன மற்றும் குழாய்களுக்கான கிரையோஜெனிக் வடிகட்டலுக்குப் பிறகு முடிக்கப்பட்ட தயாரிப்பு தொட்டிகளில் மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களின் கிரையோஜெனிக் திரவமாக்கலுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
ஸ்பிரிங்ஸ்லெஸ் டயாபிராம் சீல் வால்வு என்பது 1/4 ″ ஸ்னாப்-ஓபன் வால்வு ஆகும், இது விநியோக குழாயில் தானாக கட்டுப்படுத்தப்பட்ட மாறுதல் வால்வாக பயன்படுத்த. அவை பொதுவாக அதி-உயர் அழுத்தத்தில் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, அவற்றின் எளிய உள் ஓட்ட பாதை, சிறிய உள் அளவு மற்றும் சுத்திகரிப்பு மற்றும் மாற்றீடு ஆகியவற்றின் காரணமாக அதிக தூய்மை பயன்பாடுகள்.
தண்டு நுனி வழியாக மூடப்படும் உதரவிதானம்-சீல் செய்யப்பட்ட வால்வுகள் மெதுவாக திறந்து, அடுக்காத உதரவிதானம்-சீல் செய்யப்பட்ட வால்வுகளை விட அதிக இயக்க அழுத்தங்களில் பயன்படுத்தப்படலாம். அவை உயர் அழுத்த மின்னணு சிறப்பு வாயு நிரப்புதல் அல்லது முன்னோடி மூல பாட்டில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன.
இரண்டாம் நிலை சீல் பெல்லோஸ் வால்வை -200 டிகிரியில் அல்ட்ரா -லோ வெப்பநிலை செயல்முறை அமைப்புகளில் மட்டும் பயன்படுத்த முடியாது, ஆனால் வளிமண்டலத்தில் அபாயகரமான ஊடகங்கள் கசிவதைத் தடுக்கலாம். பொதுவாக சிலேன் நிரப்புதல் அமைப்பு போன்ற மிகவும் ஆபத்தான மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களுக்கு பயன்படுத்தப்படுகிறது.
ஷென்சென் வோஃபி டெக்னாலஜி கோ, லிமிடெட், செமிகண்டக்டர், எல்.ஈ.டி, டிராம், டிஎஃப்டி-எல்.சி.டி சந்தைகளுக்கான தொழில்துறை மற்றும் சிறப்பு வாயுக்கள், பொருட்கள், எரிவாயு விநியோக அமைப்புகள் மற்றும் எரிவாயு பொறியியல் ஆகியவற்றில் 10 ஆண்டுகளுக்கும் மேலான அனுபவத்துடன், உங்கள் தயாரிப்புகளை தொழில்துறையின் முன்னணியில் தள்ள தேவையான பொருட்களை நாங்கள் உங்களுக்கு வழங்க முடியும். அரை கடத்துபவர் மின்னணு சிறப்பு வாயுக்களுக்கு நாங்கள் பரந்த அளவிலான வால்வுகள் மற்றும் பொருத்துதல்களை வழங்க முடியாது, ஆனால் எங்கள் வாடிக்கையாளர்களுக்கான எரிவாயு குழாய் மற்றும் உபகரணங்கள் நிறுவலையும் வடிவமைக்க முடியும். இந்த பகுதியில் உங்களுக்கு ஏதேனும் தேவைகள் இருந்தால், தயவுசெய்து எங்களை 27919860 என்ற எண்ணில் தொடர்பு கொள்ளவும்.
இடுகை நேரம்: ஜூலை -19-2023