குறைக்கடத்தி செயல்முறைகளுக்கான உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோக முறைகளுக்கான தொழில்நுட்ப தீர்வுகள்

உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பம் உயர் தூய்மை எரிவாயு வழங்கல் அமைப்பின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும், இது தேவையான உயர் தூய்மை வாயுவை பயன்பாட்டு இடத்திற்கு வழங்குவதற்கும், தகுதிவாய்ந்த தரத்தை இன்னும் பராமரிப்பதற்கும் முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும்; உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பத்தில் அமைப்பின் சரியான வடிவமைப்பு, பொருத்துதல்கள் மற்றும் பாகங்கள் தேர்வு, கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல் மற்றும் சோதனை ஆகியவை அடங்கும். சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த சுற்றுகளால் குறிப்பிடப்படும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் அதிக தூய்மை வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தில் பெருகிய முறையில் கடுமையான தேவைகள் அதிக தூய்மை கொண்ட வாயுக்களின் குழாய் தொழில்நுட்பத்தை அதிக அளவில் அக்கறை மற்றும் வலியுறுத்தியுள்ளன. பொருள் தேர்விலிருந்து உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய் பற்றிய சுருக்கமான கண்ணோட்டம் பின்வருமாறுof கட்டுமானம், அத்துடன் ஏற்றுக்கொள்ளுதல் மற்றும் தினசரி மேலாண்மை.

பொதுவான வாயுக்களின் வகைகள்

எலக்ட்ரானிக்ஸ் துறையில் பொதுவான வாயுக்களின் வகைப்பாடு：

பொது வாயுக்கள்.மொத்த வாயு..: ஹைட்ரஜன் (ம₂₎, நைட்ரஜன் (n₂), ஆக்ஸிஜன் (ஓ₂), ஆர்கான் (அ₂), முதலியன.

சிறப்பு வாயுக்கள்sih₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,எச்.சி.எல்,CF₄ ,NH_3,POCL_3, SIH2Cl₂ Sihcl3,NH_3,  பி.சி.எல்_{3 ,}Sif₄ ,Clf₃ ,கோ,C₂F_6, N2o,F_2,Hf,HBR SF₆…… முதலியன.

சிறப்பு வாயுக்களின் வகைகள் பொதுவாக அரிக்கும் வகையில் வகைப்படுத்தப்படலாம்வாயு, நச்சுவாயு, எரியக்கூடியவாயு, எரியக்கூடியதுவாயு, மந்தமானவாயு, முதலியன பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் பொதுவாக பின்வருமாறு வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.

(i) அரிக்கும் / நச்சுத்தன்மைவாயு: எச்.சி.எல், பி.எஃப்₃, Wf₆, HBR, SIH₂Cl₂, என்.எச்₃, பி.எச்₃, Cl₂, பி.சி.எல்₃… போன்றவை.

(ii) எரியக்கூடிய தன்மைவாயு: ம₂, ச₄, SIH₄, பி.எச்₃, ASH3, SIH₂Cl₂, பி₂H₆, CH2F_2,Ch₃எஃப், கோ… போன்றவை.

(iii) எரிப்புவாயு: ஓ₂, Cl₂, என்₂O, nf₃… முதலியன.

(iv) மந்தவாயு: N₂, சி.எஃப்₄, சி₂F₆, சி₄F_8,எஸ்.எஃப்₆, கோ₂, Ne, kr, he… போன்றவை.

பல குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் மனித உடலுக்கு தீங்கு விளைவிக்கும். குறிப்பாக, SIH போன்ற இந்த வாயுக்களில் சில₄ தன்னிச்சையான எரிப்பு, ஒரு கசிவு காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜனுடன் வன்முறையில் வினைபுரிந்து எரிக்கத் தொடங்கும் வரை; மற்றும் சாம்பல்₃மிகவும் நச்சுத்தன்மையுள்ள, எந்தவொரு சிறிய கசிவும் மனித வாழ்க்கையின் அபாயத்தை ஏற்படுத்தக்கூடும், இது இந்த வெளிப்படையான ஆபத்துகளால் தான், எனவே கணினி வடிவமைப்பின் பாதுகாப்பிற்கான தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளன.

வாயுக்களின் பயன்பாட்டு நோக்கம்  

நவீன தொழில்துறையின் ஒரு முக்கியமான அடிப்படை மூலப்பொருளாக, எரிவாயு பொருட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் உலோகம், எஃகு, பெட்ரோலியம், ரசாயனத் தொழில், இயந்திரங்கள், மின்னணுவியல், கண்ணாடி, மட்பாண்டங்கள், கட்டுமானப் பொருட்கள், கட்டுமானம், உணவு பதப்படுத்துதல், மருந்து மற்றும் மருத்துவத் துறைகளில் ஏராளமான பொதுவான வாயுக்கள் அல்லது சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. வாயுவின் பயன்பாடு குறிப்பாக இந்த துறைகளின் உயர் தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு முக்கியமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் அதன் இன்றியமையாத மூலப்பொருள் வாயு அல்லது செயல்முறை வாயு ஆகும். பல்வேறு புதிய தொழில்துறை துறைகள் மற்றும் நவீன அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்பத்தின் தேவைகள் மற்றும் மேம்பாட்டுடன் மட்டுமே, எரிவாயு தொழில் தயாரிப்புகளை பல்வேறு, தரம் மற்றும் அளவு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் பாய்ச்சல் மற்றும் வரம்புகளால் உருவாக்க முடியும்.

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் குறைக்கடத்தி துறையில் எரிவாயு பயன்பாடு

குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் எரிவாயுவின் பயன்பாடு எப்போதுமே ஒரு முக்கிய பங்கைக் கொண்டுள்ளது, குறிப்பாக பாரம்பரிய யுஎல்எஸ்ஐ, டிஎஃப்டி-எல்.சி.டி முதல் தற்போதைய மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ-மெக்கானிக்கல் (எம்இஎம்எஸ்) தொழில் வரை பல்வேறு தொழில்களில் குறைக்கடத்தி செயல்முறை பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது, இவை அனைத்தும் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தி செயல்முறையாக கோரப்பட்ட குறைக்கடத்தி செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகின்றன. வாயுவின் தூய்மை கூறுகள் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலின் செயல்திறனில் தீர்க்கமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் எரிவாயு விநியோகத்தின் பாதுகாப்பு பணியாளர்களின் ஆரோக்கியம் மற்றும் தாவர நடவடிக்கைகளின் பாதுகாப்போடு தொடர்புடையது.

உயர் தூய்மை எரிவாயு போக்குவரத்தில் உயர் தூய்மை குழாயின் முக்கியத்துவம்

துருப்பிடிக்காத எஃகு உருகுதல் மற்றும் பொருள் தயாரிக்கும் செயல்பாட்டில், ஒரு டன்னுக்கு சுமார் 200 கிராம் வாயுவை உறிஞ்சலாம். எஃகு செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு, அதன் மேற்பரப்பு பல்வேறு அசுத்தங்களுடன் ஒட்டும் மட்டுமல்லாமல், அதன் உலோக லட்டுகளிலும் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயுவை உறிஞ்சியது. குழாய் வழியாக காற்றோட்டம் இருக்கும்போது, ​​உலோகம் வாயுவின் இந்த பகுதியை உறிஞ்சி காற்றோட்டத்தை மீண்டும் உள்ளிடும், இது தூய வாயுவை மாசுபடுத்துகிறது. குழாயில் உள்ள காற்றோட்டம் இடைவிடாத ஓட்டமாக இருக்கும்போது, ​​குழாய் அழுத்தத்தின் கீழ் வாயுவை உறிஞ்சி, காற்றோட்டம் கடந்து செல்வதை நிறுத்தும்போது, ​​குழாயால் உறிஞ்சப்பட்ட வாயு தீர்க்க ஒரு அழுத்த வீழ்ச்சியை உருவாக்குகிறது, மேலும் தீர்க்கப்பட்ட வாயு குழாயில் தூய வாயுவுக்கு அசுத்தமாக நுழைகிறது. அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் தெளிவுத்திறன் மீண்டும் மீண்டும் செய்யப்படுகின்றன, இதனால் குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகம் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு தூளை உருவாக்குகிறது, மேலும் இந்த உலோக தூசி துகள்கள் குழாயின் உள்ளே தூய வாயுவை மாசுபடுத்துகின்றன. கொண்டு செல்லப்பட்ட வாயுவின் தூய்மையை உறுதிப்படுத்த குழாயின் இந்த பண்பு அவசியம், இதற்கு குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் மிக உயர்ந்த மென்மையாக மட்டுமல்லாமல், அதிக உடைகள் எதிர்ப்பும் தேவைப்படுகிறது.

வலுவான அரிக்கும் செயல்திறன் கொண்ட வாயு பயன்படுத்தப்படும்போது, ​​அரிப்பை எதிர்க்கும் எஃகு குழாய்கள் குழாய் பதிக்க பயன்படுத்தப்பட வேண்டும். இல்லையெனில், குழாய் அரிப்பு காரணமாக உள் மேற்பரப்பில் அரிப்பு இடங்களை உருவாக்கும், மேலும் தீவிரமான சந்தர்ப்பங்களில், உலோக அகற்றுதல் அல்லது துளையிடும் ஒரு பெரிய பகுதி கூட இருக்கும், இது தூய வாயுவை விநியோகிக்க மாசுபடுத்தும்.

அதிக தூய்மை மற்றும் உயர்-சுத்திகரிப்பு வாயு பரிமாற்றம் மற்றும் பெரிய ஓட்ட விகிதங்களின் விநியோக குழாய்களின் இணைப்பு.

கொள்கையளவில், அவை அனைத்தும் பற்றவைக்கப்படுகின்றன, மேலும் பயன்படுத்தப்படும் குழாய்களுக்கு வெல்டிங் பயன்படுத்தப்படும்போது அமைப்பில் எந்த மாற்றமும் இருக்க வேண்டியதில்லை. வெல்டிங் செய்யும் போது அதிக கார்பன் உள்ளடக்கம் கொண்ட பொருட்கள் வெல்டிங் பகுதிகளின் காற்று ஊடுருவலுக்கு உட்பட்டவை, இது குழாயுக்கு உள்ளேயும் வெளியேயும் வாயுக்களின் பரஸ்பர ஊடுருவலை உருவாக்குகிறது மற்றும் பரவும் வாயுவின் தூய்மை, வறட்சி மற்றும் தூய்மை ஆகியவற்றை அழிக்கிறது, இதன் விளைவாக நமது அனைத்து முயற்சிகளும் இழப்பு ஏற்படுகிறது.

சுருக்கமாக, உயர் தூய்மை வாயு மற்றும் சிறப்பு எரிவாயு பரிமாற்றக் குழாயைப் பொறுத்தவரை, உயர் தூய்மை குழாய் அமைப்பை (குழாய்கள், பொருத்துதல்கள், வால்வுகள், வி.எம்.பி, வி.எம்.பி உட்பட) உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோகத்தில் தயாரிக்க உயர் தூய்மை எஃகு குழாயின் சிறப்பு சிகிச்சையைப் பயன்படுத்துவது அவசியம்.

பரிமாற்றம் மற்றும் விநியோக குழாய்களுக்கான சுத்தமான தொழில்நுட்பத்தின் பொதுவான கருத்து

குழாய் மூலம் மிகவும் தூய்மையான மற்றும் சுத்தமான வாயு உடல் பரிமாற்றம் என்பது வாயுவின் மூன்று அம்சங்களுக்கு கொண்டு செல்ல சில தேவைகள் அல்லது கட்டுப்பாடுகள் உள்ளன.

வாயு தூய்மை: ஜிஜிஏக்கள் தூய்மையில் தூய்மையற்ற வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம்: வாயுவில் தூய்மையற்ற வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம், வழக்கமாக 99.9999%போன்ற வாயு தூய்மையின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, இது தூய்மையற்ற வளிமண்டல உள்ளடக்கத்தின் தொகுதி விகிதமாக பிபிஎம், பிபிபி, பிபிடி.

வறட்சி: வாயுவில் சுவடு ஈரப்பதத்தின் அளவு, அல்லது ஈரப்பதம் எனப்படும் அளவு, பொதுவாக வளிமண்டல அழுத்தம் பனி புள்ளி -70 போன்ற பனி புள்ளியின் அடிப்படையில் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது. சி

தூய்மை: வாயுவில் உள்ள அசுத்தமான துகள்களின் எண்ணிக்கை, µm இன் துகள் அளவு, எத்தனை துகள்கள்/மீ 3 வெளிப்படுத்த வேண்டும், சுருக்கப்பட்ட காற்றுக்கு, வழக்கமாக எத்தனை மி.கி/மீ 3 தவிர்க்க முடியாத திட எச்சங்கள், எண்ணெய் உள்ளடக்கத்தை உள்ளடக்கியது என்பதையும் வெளிப்படுத்துகிறது.

மாசுபடுத்தும் அளவு வகைப்பாடு: மாசுபடுத்தும் துகள்கள், முக்கியமாக உலோகத் துகள்கள், வளிமண்டல சூட் துகள்கள், அத்துடன் நுண்ணுயிரிகள், பேஜ்கள் மற்றும் ஈரப்பதத்தைக் கொண்ட வாயு ஒடுக்கம் நீர்த்துளிகள் போன்றவற்றால் உருவாக்கப்பட்ட குழாய் துடைத்தல், உடைகள், அரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறிக்கின்றன, அதன் துகள் அளவின் அளவு படி

அ) பெரிய துகள்கள் - 5μm க்கு மேல் துகள் அளவு

ஆ) துகள்-0.1μm-5μm க்கு இடையில் பொருள் விட்டம்

c) அல்ட்ரா-மைக்ரோ துகள்கள்-துகள் அளவு 0.1μm க்கும் குறைவானது.

இந்த தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாட்டை மேம்படுத்துவதற்காக, துகள் அளவு மற்றும் μM அலகுகள் பற்றிய புலனுணர்வு புரிதலைச் செய்ய, குறிப்பிட்ட துகள் நிலையின் தொகுப்பு குறிப்புக்கு வழங்கப்படுகிறது

பின்வருபவை குறிப்பிட்ட துகள்களின் ஒப்பீடு ஆகும்