செமிகண்டக்டர் செயல்முறைகளுக்கான உயர்-தூய்மை எரிவாயு விநியோக அமைப்புகளுக்கான தொழில்நுட்ப தீர்வுகள்

உயர்-தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பம் உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோக அமைப்பின் ஒரு முக்கிய பகுதியாகும், இது தேவையான உயர்-தூய்மை வாயுவைப் பயன்படுத்துவதற்கான முக்கிய தொழில்நுட்பமாகும், மேலும் தகுதியான தரத்தை இன்னும் பராமரிக்கிறது;உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய் தொழில்நுட்பமானது அமைப்பின் சரியான வடிவமைப்பு, பொருத்துதல்கள் மற்றும் பாகங்கள் தேர்வு, கட்டுமானம் மற்றும் நிறுவல் மற்றும் சோதனை ஆகியவை அடங்கும்.சமீபத்திய ஆண்டுகளில், பெரிய அளவிலான ஒருங்கிணைந்த மின்சுற்றுகளால் பிரதிநிதித்துவப்படுத்தப்படும் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் தயாரிப்புகளின் உற்பத்தியில் உயர்-தூய்மை வாயுக்களின் தூய்மை மற்றும் தூய்மையற்ற உள்ளடக்கத்தின் மீதான கடுமையான தேவைகள், உயர் தூய்மை வாயுக்களின் குழாய் தொழில்நுட்பத்தை அதிக அக்கறை மற்றும் வலியுறுத்தியது.பொருள் தேர்வில் இருந்து உயர் தூய்மை எரிவாயு குழாய்களின் சுருக்கமான கண்ணோட்டம் பின்வருமாறுof கட்டுமானம், அத்துடன் ஏற்றுக்கொள்ளுதல் மற்றும் தினசரி மேலாண்மை.

பொதுவான வாயுக்களின் வகைகள்

மின்னணுவியல் துறையில் பொதுவான வாயுக்களின் வகைப்பாடு：

பொதுவான வாயுக்கள்(மொத்த வாயு): ஹைட்ரஜன் (எச்₂₎, நைட்ரஜன் (என்₂), ஆக்ஸிஜன் (ஓ₂), ஆர்கான் (ஏ₂), முதலியன

சிறப்பு வாயுக்கள்SiH உள்ளன₄ ,PH₃ ,B₂H_{6 ,}A₈H₃ ,CL ,எச்.சி.எல்,CF₄ ,NH_3,பிஓசிஎல்_3, SIH2CL₂ SIHCL3,NH_3,  பி.சி.எல்_{3 ,}SIF₄ ,CLF₃ ,CO,C₂F_6, N2O,F_2,எச்.எஃப்,HBR SF₆…… போன்றவை.

சிறப்பு வாயுக்களின் வகைகளை பொதுவாக அரிக்கும் தன்மை கொண்டதாக வகைப்படுத்தலாம்வாயு, நச்சுவாயு, எரியக்கூடியதுவாயு, எரியக்கூடியதுவாயு, செயலற்றவாயு, முதலியன பொதுவாகப் பயன்படுத்தப்படும் குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் பொதுவாக பின்வருமாறு வகைப்படுத்தப்படுகின்றன.

(i) அரிக்கும் / நச்சுவாயு: HCl , BF₃, WF₆, HBr , SiH₂Cl₂, NH₃, PH₃, Cl₂, BC₃… போன்றவை.

(ii) எரியக்கூடிய தன்மைவாயு: எச்₂, சிஎச்₄, SiH₄, PH₃, AsH3, SiH₂Cl₂, பி₂H₆, CH2F_2,சிஎச்₃F, CO... etc.

(iii) எரியக்கூடிய தன்மைவாயு: ஓ₂, Cl₂, என்₂O, NF₃… போன்றவை.

(iv) செயலற்றதுவாயு: என்₂, CF₄, சி₂F₆, சி₄F_8,எஸ் எப்₆, CO₂, Ne, Kr, He...etc.

பல குறைக்கடத்தி வாயுக்கள் மனித உடலுக்கு தீங்கு விளைவிக்கும்.குறிப்பாக, இந்த வாயுக்களில் சில, SiH போன்றவை₄ தன்னிச்சையான எரிப்பு, ஒரு கசிவு காற்றில் உள்ள ஆக்ஸிஜனுடன் கடுமையாக வினைபுரிந்து எரியத் தொடங்கும் வரை;மற்றும் ஆஷ்₃அதிக நச்சுத்தன்மை, எந்த சிறிய கசிவு மனித உயிருக்கு ஆபத்தை ஏற்படுத்தலாம், இந்த வெளிப்படையான ஆபத்துகள் காரணமாகும், எனவே கணினி வடிவமைப்பின் பாதுகாப்பிற்கான தேவைகள் குறிப்பாக அதிகமாக உள்ளது.

வாயுக்களின் பயன்பாட்டின் நோக்கம்  

நவீன தொழில்துறையின் முக்கிய அடிப்படை மூலப்பொருளாக, எரிவாயு பொருட்கள் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, மேலும் உலோகம், எஃகு, பெட்ரோலியம், இரசாயனத் தொழில், இயந்திரங்கள், மின்னணுவியல், கண்ணாடி, மட்பாண்டங்கள், கட்டுமானப் பொருட்கள், கட்டுமானம் ஆகியவற்றில் அதிக எண்ணிக்கையிலான பொதுவான வாயுக்கள் அல்லது சிறப்பு வாயுக்கள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன. , உணவு பதப்படுத்துதல், மருத்துவம் மற்றும் மருத்துவத் துறைகள்.வாயுவின் பயன்பாடு குறிப்பாக இந்த துறைகளின் உயர் தொழில்நுட்பத்தில் ஒரு முக்கிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் அதன் தவிர்க்க முடியாத மூலப்பொருள் வாயு அல்லது செயல்முறை வாயு ஆகும்.பல்வேறு புதிய தொழில்துறை துறைகள் மற்றும் நவீன அறிவியல் மற்றும் தொழில்நுட்பத்தின் தேவைகள் மற்றும் ஊக்குவிப்புடன் மட்டுமே, எரிவாயு துறையின் தயாரிப்புகளை பல்வேறு, தரம் மற்றும் அளவு ஆகியவற்றின் அடிப்படையில் விரைவாகவும் வரம்பாகவும் உருவாக்க முடியும்.

மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் மற்றும் செமிகண்டக்டர் துறையில் எரிவாயு பயன்பாடு

குறைக்கடத்தி செயல்பாட்டில் வாயுவின் பயன்பாடு எப்போதும் முக்கிய பங்கு வகிக்கிறது, குறிப்பாக குறைக்கடத்தி செயல்முறை பாரம்பரிய ULSI, TFT-LCD முதல் தற்போதைய மைக்ரோ-எலக்ட்ரோ-மெக்கானிக்கல் (MEMS) தொழில் வரை பல்வேறு தொழில்களில் பரவலாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது. தயாரிப்புகளின் உற்பத்தி செயல்முறையாக அழைக்கப்படும் குறைக்கடத்தி செயல்முறையைப் பயன்படுத்துகிறது.வாயுவின் தூய்மையானது கூறுகளின் செயல்திறன் மற்றும் தயாரிப்பு விளைச்சலில் ஒரு தீர்க்கமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது, மேலும் எரிவாயு விநியோகத்தின் பாதுகாப்பு பணியாளர்களின் ஆரோக்கியம் மற்றும் ஆலை செயல்பாடுகளின் பாதுகாப்புடன் தொடர்புடையது.

உயர் தூய்மை எரிவாயு போக்குவரத்தில் உயர் தூய்மை குழாய்களின் முக்கியத்துவம்

துருப்பிடிக்காத எஃகு உருகுதல் மற்றும் பொருள் தயாரிக்கும் செயல்பாட்டில், ஒரு டன் ஒன்றுக்கு சுமார் 200 கிராம் வாயு உறிஞ்சப்படும்.துருப்பிடிக்காத எஃகு செயலாக்கத்திற்குப் பிறகு, அதன் மேற்பரப்பு பல்வேறு அசுத்தங்களுடன் ஒட்டும், ஆனால் அதன் உலோக லேட்டிஸிலும் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு வாயு உறிஞ்சப்படுகிறது.குழாய் வழியாக காற்றோட்டம் இருக்கும்போது, ​​​​உலோகம் வாயுவின் இந்த பகுதியை உறிஞ்சி மீண்டும் காற்றோட்டத்தில் நுழையும், தூய வாயுவை மாசுபடுத்துகிறது.குழாயில் உள்ள காற்றோட்டம் இடைவிடாத ஓட்டமாக இருக்கும்போது, ​​​​குழாய் அழுத்தத்தின் கீழ் வாயுவை உறிஞ்சுகிறது, மேலும் காற்றோட்டம் கடந்து செல்லும் போது, ​​குழாய் மூலம் உறிஞ்சப்பட்ட வாயு ஒரு அழுத்த வீழ்ச்சியை உருவாக்குகிறது, மேலும் தீர்க்கப்பட்ட வாயுவும் குழாயில் உள்ள தூய வாயுவில் நுழைகிறது. அசுத்தங்களாக.அதே நேரத்தில், உறிஞ்சுதல் மற்றும் தீர்மானம் மீண்டும் மீண்டும் நிகழ்கிறது, இதனால் குழாயின் உள் மேற்பரப்பில் உள்ள உலோகம் ஒரு குறிப்பிட்ட அளவு பொடியை உருவாக்குகிறது, மேலும் இந்த உலோக தூசி துகள்கள் குழாயின் உள்ளே உள்ள தூய வாயுவையும் மாசுபடுத்துகின்றன.குழாயின் இந்த குணாதிசயம் கடத்தப்பட்ட வாயுவின் தூய்மையை உறுதிப்படுத்துவதற்கு அவசியமானது, இது குழாயின் உட்புற மேற்பரப்பின் மிக உயர்ந்த மென்மை மட்டுமல்ல, அதிக உடைகள் எதிர்ப்பும் தேவைப்படுகிறது.

வலுவான அரிக்கும் செயல்திறன் கொண்ட வாயு பயன்படுத்தப்படும் போது, ​​குழாய்களுக்கு அரிப்பை எதிர்க்கும் எஃகு குழாய்கள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.இல்லையெனில், குழாய் அரிப்பு காரணமாக உள் மேற்பரப்பில் அரிப்பு புள்ளிகளை உருவாக்கும், மேலும் தீவிர நிகழ்வுகளில், உலோகத்தை அகற்றும் அல்லது துளையிடும் ஒரு பெரிய பகுதி இருக்கும், இது விநியோகிக்கப்படும் தூய வாயுவை மாசுபடுத்தும்.

அதிக தூய்மை மற்றும் அதிக தூய்மையான வாயு பரிமாற்றம் மற்றும் பெரிய ஓட்ட விகிதங்களின் விநியோக குழாய்களின் இணைப்பு.

கொள்கையளவில், அவை அனைத்தும் பற்றவைக்கப்படுகின்றன, மேலும் பயன்படுத்தப்படும் குழாய்கள் வெல்டிங் பயன்படுத்தப்படும் போது அமைப்பில் எந்த மாற்றமும் இல்லை.அதிக கார்பன் உள்ளடக்கம் கொண்ட பொருட்கள் வெல்டிங் செய்யும் போது வெல்டிங் செய்யப்பட்ட பகுதிகளின் காற்று ஊடுருவலுக்கு உட்பட்டவை, இது குழாயின் உள்ளேயும் வெளியேயும் வாயுக்களின் பரஸ்பர ஊடுருவலை உருவாக்குகிறது மற்றும் கடத்தப்பட்ட வாயுவின் தூய்மை, வறட்சி மற்றும் தூய்மையை அழித்து, இழப்பு ஏற்படுகிறது. எங்கள் முயற்சிகள் அனைத்தும்.

சுருக்கமாக, உயர் தூய்மை எரிவாயு மற்றும் சிறப்பு எரிவாயு பரிமாற்ற குழாய், உயர் தூய்மை குழாய் அமைப்பு (குழாய்கள், பொருத்துதல்கள், வால்வுகள், VMB, VMP உட்பட) செய்ய, உயர் தூய்மை துருப்பிடிக்காத எஃகு குழாய் ஒரு சிறப்பு சிகிச்சை பயன்படுத்த வேண்டும். உயர் தூய்மை எரிவாயு விநியோகம் ஒரு முக்கிய பணியை ஆக்கிரமித்துள்ளது.

பரிமாற்றம் மற்றும் விநியோக குழாய்வழிகளுக்கான சுத்தமான தொழில்நுட்பத்தின் பொதுவான கருத்து

குழாய்கள் மூலம் மிகவும் தூய்மையான மற்றும் சுத்தமான வாயு உடல் பரிமாற்றம் என்பது வாயுவின் மூன்று அம்சங்களுக்கு சில தேவைகள் அல்லது கட்டுப்பாடுகள் உள்ளன என்று அர்த்தம்.

வாயு தூய்மை: gGas தூய்மையில் உள்ள தூய்மையற்ற வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம்: வாயுவில் உள்ள தூய்மையற்ற வளிமண்டலத்தின் உள்ளடக்கம், பொதுவாக வாயு தூய்மையின் சதவீதமாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது, அதாவது 99.9999%, மேலும் தூய்மையற்ற வளிமண்டல உள்ளடக்கத்தின் தொகுதி விகிதமாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது ppm, ppb, ppt.

வறட்சி: வாயுவில் உள்ள ஈரப்பதத்தின் அளவு அல்லது ஈரப்பதம் எனப்படும் அளவு, பொதுவாக வளிமண்டல அழுத்தம் பனி புள்ளி -70 போன்ற பனி புள்ளியின் அடிப்படையில் வெளிப்படுத்தப்படுகிறது.சி.

தூய்மை: வாயுவில் உள்ள மாசுபடுத்தும் துகள்களின் எண்ணிக்கை, துகள் அளவு µm, எத்தனை துகள்கள்/M3 வெளிப்படுத்த வேண்டும், அழுத்தப்பட்ட காற்றில், எண்ணெய் உள்ளடக்கத்தை உள்ளடக்கிய எத்தனை mg/m3 தவிர்க்க முடியாத திட எச்சங்களின் அடிப்படையில் பொதுவாக வெளிப்படுத்தப்படுகிறது. .

மாசுபடுத்தும் அளவு வகைப்பாடு: மாசுபடுத்தும் துகள்கள், அதன் துகள் அளவின் அளவுக்கேற்ப, உலோகத் துகள்கள், வளிமண்டல சூட் துகள்கள், அத்துடன் நுண்ணுயிரிகள், பேஜ்கள் மற்றும் ஈரப்பதம் கொண்ட வாயு ஒடுக்கத் துளிகள் போன்றவற்றால் உருவாகும் குழாய்த் துகள்கள், தேய்மானம், அரிப்பு ஆகியவற்றைக் குறிக்கிறது. என பிரிக்கப்பட்டுள்ளது

a) பெரிய துகள்கள் - துகள் அளவு 5μm

b) துகள் - 0.1μm-5μm இடையே பொருள் விட்டம்

c) அல்ட்ரா-மைக்ரோ துகள்கள் - துகள் அளவு 0.1μm க்கும் குறைவானது.

இந்த தொழில்நுட்பத்தின் பயன்பாட்டை மேம்படுத்த, துகள் அளவு மற்றும் μm அலகுகளை புலனுணர்வுடன் புரிந்து கொள்ள, குறிப்பிட்ட துகள் நிலையின் தொகுப்பு குறிப்புக்காக வழங்கப்படுகிறது.

பின்வருவது குறிப்பிட்ட துகள்களின் ஒப்பீடு